谐振梁相关论文
横向灵敏度的存在影响了加速度计的测量精度,因此横向灵敏度是加速度计的重要参数。按照激励方式的不同,国内外现有的加速度计横向......
本文针对加速度计横向灵敏度的测试需求,设计了基于谐振梁的加速度计横向灵敏度测试系统,并分别介绍了系统的硬件和软件组成.该测......
针对热激励硅基谐振型压力传感器温度漂移严重的问题,提出了一种双梁硅基谐振型压力传感器结构,利用不测试压力的谐振梁感应温度对......
微谐振式压力传感器尺寸小、重量轻、精度高并具有数字输出,在航空航天等领域有着广阔的应用前景。然而由于微机械加工工艺的限制,......
谐振梁是一种应用广泛的谐振器。谐振式传感器可以通过测量谐振梁谐振频率的变化,解算谐振梁所受的轴向载荷的大小,从而达到测量目......
介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术,设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器,给出了制作的工艺过程和参数,......
提出一种应用于微谐振式压力传感器的敏感结构，其一次敏感元件为矩形硅膜片，膜片的上表面架设有三个两端固支的硅谐振梁，间接感受压力......
谐振式加速度计的振动稳定性,是加速度计的重要性能指标之一,对测量精度和可靠性有重要影响。本文以谐振式加速度计敏感结构的振动......
硅微谐振式加速度计是一种高精度的惯性传感器,它通过谐振梁刚度随惯性力的变化检测输入加速度的大小。为了得到较高的标度因数,国......
为了提高复合结构压电俘能器的发电能力,本文研究了谐振梁与压电主梁的连接方式对系统发电性能的影响。使用有限元法分别得到了常......
对谐振式微机械传感器的敏感元件——微机械谐振梁的谐振频率特性进行了详细的实验研究，并从理论上分析了激励功率对谐振频率的影响......
提出了一种新型结构压力传感器,器件由上下两硅片键合而成,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁,下硅片制作矩形压力膜.应用有限元软......
本文分析了国内外地震观测中采用的技术方法和研究现状及前景,综合分析了特殊的环境使用条件和测试过程中信息提取的模型考虑,针对......
考虑环境温度会影响硅微谐振加速度计（MSRA）的测量精度,本文研究了谐振梁的频率漂移及抑制方法以便提高其在常温下的零偏稳定性。针......
谐振器件通过检测振动元件的谐振频率或振幅的变化来测量应变、应力、加速度、压力、质量变化以及流量等，广泛应用于力学量传感器中......
研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器，对其结构和工艺进行设计，并制作出了一系列不同结构和尺寸的这种器件。该加速度传感器在制......
