硅片传输机器人相关论文
随着集成电路(IC)集成度的提高,硅片传输机器人的工作环境向着高洁净度、高真空度方向发展,传统的机械密封难以保证IC制造对硅片传......
轨迹自动生成系统是机器人控制系统的重要组成部分,对于机器人工作效率的提高和智能化发展具有重要的意义。本文对一种类SCARA硅片......
光刻机是半导体制造的核心装备,硅片传输机器人是其内部专用的自动物料处理设备,它的工作速度、定位精度、可靠性,使用洁净度等直......
本文以一种可实现整周回转二平动自由度并联机构为对象,研究了机构的运动学建模、尺度综合、伺服电机参数预估、轨迹规划等关键技......
在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此......
结合径向直线运动型硅片传输机器人的设计,分别介绍了该机器人的升降旋转部件、径向伸缩部件、末端翻转部件的机构以及工作原理,并......
针对硅片传输机器人末端低频振动问题,提出了一种基于最优S曲线轨迹的硅片传输机器人低频振动的抑制方法.该方法通过推导在参数化S......
集成电路(IC)产业的快速发展对硅片传输机器人工作环境的洁净度及真空度提出了更高的要求。与传统机械密封相比,磁流体密封具有气......
硅片传输机器人是半导体制造业中重要的传输、定位设备,其工作的速度、定位精度和可靠性等直接影响硅片的生产效率和制造质量。国......
集成电路(IC)装备制造业是高技术装备产业的典型代表,硅片传输机器人是IC制造装备中负责硅片传输和定位的关键设备之一,其工作性能......
提出一种以硅片传输机器人末端竖直方向上由手臂静变形引起的静偏移为约束、以刚性杆柔性关节系统固有频率为优化目标、以各手臂壁......
集成电路(IC, Integrated Circuit)产业已经成为世界经济发展的基础，相应的IC制造装备也成为高技术装备产业支撑。大尺寸硅片超精密......
