硬掩膜相关论文
晶硅太阳电池在目前的光伏市场上占据了主导位置,提高电池的光电转换效率是降低晶硅电池度电成本的有效途径之一。背接触异质结硅......
半导体技术随着摩尔定律,工艺尺寸逐渐缩小,浅沟槽形貌对增加低功耗产品器件间的隔离效果,降低漏电流的作用越来越敏感[1].提出一......
ue*M#’#dkB4##8#”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:(100084川C京市海淀区清华园申请人:清......