采用金属蒸汽真空弧（MEVVA）离子源发出的强束流脉冲钨离子，对H13钢进行了离子注入表面改性研究。借助X射线光电子能谱仪（XPS）考察了注入......

采用由金属蒸气真空弧(MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钨离子对Hl3钢进行了离子注入表面改性研究.借助掠面X射线衍射(GXRD)和X射线......

本文综述了激光退火发展概况,扼要介绍了激光退火机理、主要应用、新的动向及其存在的问题,可供有关科技工作者参考......

集成电路制造技术中,传统的光学临近效应修正都是基于平坦化衬底的。针对离子注入层的包括有源区、浅槽隔离区和栅极的复杂结构,一......

<正> 83·2001 使用介质反射镜的磁光调制器——J.C.Campbell, K.Y.Lau, J.Stone,美国专利,No.4,239,337,1980年12月16日公布.反射......