等离子氧化相关论文
利用等离子体氧化方法在单晶硅片上制备了厚度小于 10 nm的超薄 Si O2 层 .通过傅里叶红外光谱 (FTIR)、X射线光电子谱 (XPS)、透......
提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流。对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘......
主要阐述了结构钢经过等离子氮碳共渗后表面生成高硬度的化合物层(主要相成分是Fe2~3N和Fe3C),提高了结构钢的抗磨损性能;等离子氮碳......
系统地研究了纳米氧化层(NOL)在PtMn基镜面反射Spin Valve磁性薄膜中的作用和其结构特征.研究发现,自然氧化和等离子氧化形成的NOL......
采用等离子氧化金属薄膜法制备了HfO2栅介质薄膜,并研究了HfO2栅介质薄膜的微结构和表面形态随退火温度的变化而发生的变化规律。......
介绍了铝及其氮化物表面干法氧化的研究现状及发展前景。总结了不同氧化方法对铝氧化膜性质的影响,并对采用干法制备铝氧化膜及氮氧......
提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流。对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘性......
氚渗透是聚变堆氚生产和使用的重要研究领域,在低渗透率不锈钢表面构建陶瓷防氚渗透层是国际上公认的储氚问题解决方案,既可保证材......
首先用CoFe合金靶在氧气气氛中以反应性溅射法形成CoO-F#3O4薄膜,然后用两种方法氧化,使之转变为Co-γ-Fe2O3,制成薄膜磁盘。所用氧化法......
在316L不锈钢表面制备α-Al2O3涂层可以起到良好的防氚渗透效果,如何在低温下制备出高含量的α-Al2O3是其能否最终用作聚变堆包层防......
低温条件下在结构材料表面制备高含量的α-Al2O3防氚渗透涂层是聚变堆包层技术发展中的难题。为此,本文提出采用磁控溅射技术在316L......
为提高核聚变工程中管件的防氚渗透性能,在低渗透率结构材料表面建立陶瓷防氚渗透层成为国际上公认的阻氚解决方案。本文采用有限......
α-Al2O3涂层被认为是核聚变结构件表面阻氚渗透涂层的理想材料。但是,稳态α-Al2O3相变所需的高温(大于1000℃)会严重影响基体材料的......