粉末溅射相关论文
介绍粉末溅射 Sn O2 / Ce O2 酒敏薄膜特性的研究和气敏元件气敏层参数的设计 .介绍元件热功耗的规律 ,反应温度的规律 ,测试电压......
采用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2 :Pt薄膜和SnO2 /SnO2 :Pt双层膜 .这两种薄膜材料不仅对CO气体有很高的灵敏度 ,良好的选择性......
用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2:Pt薄膜和表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜.实验结果表明,由室温至200℃,这两种薄膜对CO气体均显......
用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2:Pt薄膜和表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜,测量了薄膜在不同CO体积分数下的灵敏度和电导. 研究了......
针对金属氧化物薄膜气敏元件传统制造工艺中存在的掺杂不稳问题,开发了一种实用化的ZnO薄膜气敏基材料.采用粉末溅射法研制ZnO：1%Ce......
利用反溅，发展了粉末溅射工艺；指出了粉末溅射对研制稳定的薄膜气敏元件的重要性；给出了粉末掺杂比与薄膜掺杂比关系的实验结果；给出了......
介绍了一种新型结构CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性.分析了双层膜中的导......
粉末溅射有制靶简单、掺杂容易的特点,并有掺杂稳定的优点.利用反溅,发展了粉末溅射,制备了酒敏微型平面薄膜.对薄膜的相关特性进......
介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。......
利用粉末溅射,研究了SnO2/CeO2微型平面薄膜.结果表明:薄膜最佳掺杂范围(5%-20%)、最佳灵敏度膜厚(150 nm)、响应时间与恢复时间随......
