精密光学元件相关论文
为降低多种因素影响导致的精密光学元件表面缺陷面积测量结果不稳定性的问题，研究基于光谱技术的精密光学元件表面缺陷面积测量方法......
为了实现对光学元件表面不同尺寸尤其是微小尺寸缺陷的精确检测,以典型的光学元件表面缺陷即麻点和划痕为研究目标,提出了一种基于......
某些精密光学元件在工作时受到冲击和振动载荷,对光学元件抗振性的检测成为光学元件测试的主要指标。但实际环境中的振动是复杂多......
为解决精密光学元件表面洁净度检测面临疵病干扰及测量精度不理想的问题,提出了基于机器视觉方法的图像检测系统,设计了适用于多种......
针对精密光学元件表面缺陷检测效率低、大口径元件不便于检测问题，设计了一种应用于大型激光装置的大口径光学元件缺陷检测装置。通......
由中科院长春光机所承担的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制”11月11日通过验收,并制造出世界最大面......
为了避免一些因素给精密光学元件制造带来的不利影响,增强光学元件制造的可预测性和重复性,需要利用数据挖掘技术来发现精密光学元......
【正】在科学和工程技术领域,超精密光学元件的制造技术正在成为关注的热点,其发展把超精密制造技术推进到传统机械制造不可企及的......
<正> 在光刻技术中,由于对部件面形需求达到均方根0.005λ,其部件技术要求通常已超越了商业高速光学制造设备的能力。即使在研磨抛......
