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罗门哈斯电子材料公司研磨技术事业部宣布在中国台湾省新竹县开设新的亚洲技术中心(简称ATC)。该中心将有助于研磨技术事业部更加密......
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11月底,罗门哈斯电子材料(股份)公司CMP技术部门,日前又研发出另一种应用于半导体器件中铜配线的低应力一低压力下化学机械研磨工艺(......
期刊
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