静电激励相关论文
微谐振式压力传感器因其体积小、精度高等特点而被广泛研究,本文基于谐振器在不同压力载荷下侧向振动时其等效刚度随轴向应力的改......
随着电容式加速度传感器的广泛使用，对其品质因子、谐振频率等关键参数的器件级测试显得尤为重要。本文提出了一种简单有效的加速度......
基于多物理场动态耦合分析方法建立了考虑微流体压膜阻尼效应的静电激励微板机电耦合系统动力学模型,采用KBM法对微板多物理场耦合......
设计了一种静电激励/电容检测的硅微机械谐振压力传感器,采用改进的侧向动平衡双端固支音叉谐振器,利用基于绝缘体上硅的加工工艺......
重点对静止状态谐振子的静电激励方法进行研究。理论上分析了采用单频激励和半频激励时由外加电压产生的静电驱动力之间的差别，根据......
利用蚀刻硅技术制造的微机械构件,由于特殊的制作工艺而需要对其材料的机械性能如杨氏模量等进行测试.这是随微机械技术的产生而提......
从理论上分析谐振器的静电制动特性和机械力学特性,给出了活动梳齿的谐振频率和谐振振幅的解析解,提供谐振器结构设计的依据.设计......
本文简述了H型亚微米梁的工艺实现过程,从实验上详细研究H型梁的两种混频方式：向下混频和向上混频.考察的H型梁长度分别为8μm、10......
针对静电激励作用下纳米梁非线性因素导致的振动不稳定问题,研究了当激励频率接近系统固有频率一半时纳米梁在静电激励作用下非线......
介绍了一种电容式微Si加速度计的基本结构以及静电激振法用于电容加速度计动态参数测试的基本原理。提出了在开环条件下，采用静电激......
为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性，建立了测试中的关键模型：静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器......
半球谐振陀螺是一种全新的固体陀螺,具有独特的结构和工作方式。针对半球谐振陀螺信号的提取、检测与控制,提出了半球谐振陀螺信号......
为了提高传感器的信噪比(signal-to-noise ratio,SNR),降低器件的耦合干扰,基于表面微机械工艺设计制作了一种新型推挽激励方案的......
期刊
基于MEMS技术的硅微谐振式压力传感器是目前精度最高的硅微压力传感器，它通过检测物体的固有频率间接测量压力，为准数字信号输出。其......
随着现代物理学、微电子、计算机和惯性技术的发展,微硅机械陀螺仪以其独特的优点成为惯性传感器的一个发展方向,在军用、民用技术......
