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Ba〈,0.5〉Sr〈,0.5〉TiO〈,3〉薄膜的外延生长及其电学特性
【机 构】
:
大学微电子所(北京)
【出 处】
:
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
:
1999年期
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