【摘 要】
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磁控溅射工艺中负载为等离子体,其负载特性与改善电源输出质量有着密切的关系。本文通过已有实验结果的分析,提出了一种磁控溅射等离子体负载的等效电路模型,归纳出等离子体
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磁控溅射工艺中负载为等离子体,其负载特性与改善电源输出质量有着密切的关系。本文通过已有实验结果的分析,提出了一种磁控溅射等离子体负载的等效电路模型,归纳出等离子体特性对工艺、电源的影响,并给出模型参数的计算方法。设计出以Boost电路为主要结构的启动模块,并提出相应的启动策略,达到了新型磁控溅射工艺所要求的高压启动；提出了一种二极管续流电路,解决了由于负载的非阻性引起的电源输出震荡问题；结合双靶工艺指标,设计出两路输出磁控溅射脉冲电源的主电路拓扑；分析了移相全桥ZVS-PWM-DC/DC (Zero-Voltage-Switch Pulse-Width-Modulati on DC/DC)变换器的工作原理,设计出了在宽负载条件下能够实现零电压通断的变换器结构参数。本文对所设计的电源系统进行了基于PSPICE、SIMULINK的仿真分析,制作模块单板进行了实验,从实验波形上可以看出,该设计实现了两路输出磁控溅射脉冲电源的高压启动并且稳定了输出,同时实现了,提高了电源的整体效率。
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