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[学位论文] 作者：殷伯华,,
来源：北京工业大学 年份：2003
随着微技术(Micro technology)的不断发展，以形状尺寸微小、操作尺寸极小为特征的微机械已经成为人们从微观角度认识和改造客观世界的一种高新技术。而以准分子LIGA制作技术为...
[期刊论文] 作者：刘伟,殷伯华,,
来源：微细加工技术 年份：2008
提出使用扫描电子显微镜来获取集成电路芯片的形貌图像，以弥补光学显微镜分辨率的不足。利用拼接的方法来获得完整的芯片形貌图像。描述了压电陶瓷电机驱动工件台的工作原理。......
[期刊论文] 作者：殷伯华,方光荣,
来源：工业控制计算机 年份：2004
本文介绍了一种应用于电子束曝光机系统中的实时显示系统.详细描述了基于89C52单片机系统和彩色液晶显示器的电子束扫描信号数据采集系统的结构和控制过程.应用本系统不仅可...
[期刊论文] 作者：殷伯华,薛虹,
来源：组合机床与自动化加工技术 年份：2005
文章在比较不同数据传输方式的基础上简述了在电子束曝光过程中上位机曝光软件和下位机工件台控制系统之间的控制指令结构及其传送和转换过程.同时对下位机工件台控制系统的...
[期刊论文] 作者：殷伯华,韩立,
来源：科技纵览 年份：2019
随着各个领域的创新和技术进步,人们探索世界的尺度越来越精细,微纳尺度的器件和相关问题已经不可回避地越来越多.例如,芯片上可以集成的晶体管数量越来越多,半导体器件的尺...
[期刊论文] 作者：殷伯华,张瑜,陈涛,
来源：光电子．激光 年份：2004
介绍了一种利用可编程Intel 8254定时器/计数器在微机上实现准分子激光微加工过程激光外触发控制的新方法.针对准分子激光的光刻直写技术的需求特点对所使用的分频器以及8254...
[期刊论文] 作者：刘伟,ZHAO Yan-lei,殷伯华,FANG Guang,
来源：微计算机信息 年份：2004
本文以物镜磁透镜稳流电源为例,介绍了透射电子显微镜透镜稳流电源的结构和工作原理.透镜稳流电源由前置高精度稳压电源模块、数模转换器、低漂移电压比较放大器、高精度恒温...
[期刊论文] 作者：张红霞,高宏刚,殷伯华,,
来源：制造技术与机床 年份：1999
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[会议论文] 作者：殷伯华,方光荣,顾文琪,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
本文介绍了以CPLD(ComplexProgrammableLogicDevice,复杂可编程逻辑器件)和高精度数模转换芯片为核心器件构成的电子束曝光机定位误差实时补偿系统.着重讲述了使用CPLD对误差信号的变换过程、高精度D/A的使用.给出了Verilog程序源程序并讲述其处理过程.分析了本......
[期刊论文] 作者：刘伟,赵艳雷,殷伯华,方光荣,,
来源：微计算机信息 年份：2008
本文以物镜磁透镜稳流电源为例,介绍了透射电子显微镜透镜稳流电源的结构和工作原理。透镜稳流电源由前置高精度稳压电源模块、数模转换器、低漂移电压比较放大器、高精度恒...
[期刊论文] 作者：张瑜,殷伯华,陈涛,左铁钏,
来源：新技术新工艺 年份：2004
介绍了一种采用准分子激光进行微细加工微锥体技术的新方法,并利用该方法在有机玻璃上制作质谱分离芯片电喷尖的实验.该方法借鉴了传统机械加工中车削的概念,但实质上依靠非...
[期刊论文] 作者：郭少朋,韩立,殷伯华,鞠昱,,
来源：光子学报 年份：2015
针对局部放电测量中的光纤法珀传感器，研究了其工作点稳定和提高灵敏度的参数优化方法．通过改变可调谐激光器的波长稳定了传感器的工作点．用激光器波长调谐范围确定腔长，令玻璃薄......
[期刊论文] 作者：陈代谢,林云生,殷伯华,韩立,,
来源：现代科学仪器 年份：2009
随着微悬臂梁在信号检测方面的广泛应用，需要一种简单高效的方法来提高微悬臂梁的灵敏度。本文提出一种基于FPGA的数字式提高微悬臂梁品质因数的方法。利用FPGA的可编程数字信...
[期刊论文] 作者：荆涛,殷伯华,陈涛,左铁钏,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2001
准分子激光微细加工技术以其较高的精度,较低成本及较快加工速度在微机械加工领域受到了极大的重视.它利用准分子激光波长短、光子能量高、脉宽窄、脉冲功率密度高的特点,其...
[会议论文] 作者：方光荣;顾文琪;张今朝;殷伯华;,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
我们成功研制了一台纳米通用图形发生器,该图形发生器可以与扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、扫描探针显微镜(SPM)和聚焦离子束系统(FIB)连接,组成纳米曝光系统或...
[期刊论文] 作者：陈代谢,殷伯华,林云生,韩立,李敏,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2011
针对传统比例-积分-微分（PID）控制器参数整定困难的问题,提出一种新型比例-积分（PI）参数自动寻优控制器（SPO）.先确定PI参数的取值范围,按一定取值间距建立PI参数的查找表;针对反馈......
[期刊论文] 作者：张红霞, 殷伯华, 吴明根, 高宏刚,,
来源：制造技术与机床 年份：1999
介绍了一种新型的定偏心式的锡磨盘的超精密平面抛光工艺。在建立了平面材料去除和抛光轨迹的数学模型的基础上，对微晶玻璃进行工艺实验。通过调整影响其精度的工艺装备及工艺......
[期刊论文] 作者：殷伯华,初明璋,林云生,韩立,,
来源：电子显微学报 年份：2009
本文介绍了关键尺寸原子力显微镜（CD-AFM）在半导体芯片制造中的应用。通过对比现有的半导体检测仪器与原子力显微镜的工作原理和检测方法,详细探讨了原子力显微镜在目前的半导......
[期刊论文] 作者：高宏刚,曹建林,张红霞,殷伯华,
来源：仪器仪表学报 年份：2004
本文使用超精密平面研磨机及锡磨盘进行超光滑表面的抛光研究.平面抛光中,锡磨盘表面的形貌和加工状况直接影响被加工工件的表面平面度.本文基于Preston方程,建立了在定偏心...
[期刊论文] 作者：李洋,殷伯华,刘俊标,靳鹏云,
来源：现代科学仪器 年份：2015
针对应用于快速原子力显微镜扫描器中的微位移工作台的大行程和高固有频率的需求,本文通过对微位移工作台的材质、压电驱动装置和位移传递机构的合理选择,采用有限元方法,对...
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