动态干涉仪相关论文
采用离轴角度90°、口径1 inch的离轴抛物面作为样品,比对了传统零位干涉测量结果和非接触式3D非球面光学面形测量系统Luphoscan之......
随着精密制造行业对光学元件面形要求的提高,干涉仪系统误差的标定越来越重要.其中,采用液面基准法作为干涉仪系统误差标定的方案......
主轴是机床的基本结构单元,机床主轴的回转误差直接反应机床动态性能的优劣。实现机床主轴回转误差准确有效的检测是研究机床动态......
随着超精密加工技术的高速发展,人们对于加工零部件的精度要求越来越高。主轴是机床的重要组成部分,机床主轴的回转精度直接决定了......
随着光学技术的不断发展,高精度、大口径光学平面镜在空间光学、强激光等光学领域得到了广泛的应用。大口径光学平面镜的加工需要......
为了解决普通二维光栅分光在动态干涉仪中所需衍射级次能量不足的问题,使用标量衍射和傅里叶分析法对矩形正交位相光栅和棋盘位相......
开展了基于动态干涉仪的平面光学元件平面度干涉拼接测量，并研究了影响测量和拼接的主要误差。用二级减振的方法来抑制环境中振动的......
本文所介绍的平面面形动态干涉仪主要用于解决空间相机成像胶片面不平度的检测，也可用于其它光学平面和非光学平面面形的测试。......
为了克服超长光路造成的振动和大气扰动的影响,采用动态干涉测量结合补偿法进行超大口径凹非球面的精密检测.通过分析超大口径凹非......
期刊
动态干涉测试技术具有非接触、高精度、抗振动的优点,在天文光学、强激光、核聚变等领域中得到了广泛应用。目前常用的动态干涉测......
为了快速获取不平整度达数微米量级的光学表面面形分布,提出一种基于变倾角移相的斜入射动态干涉仪方案。基于迈克耳逊干涉仪主光......
现代光学制造产业的高速发展与相应检测技术的不断完善紧密相关,随着航空航天、集成电路的超微加工领域的发展,对光学制造与检测的......
为了解决普通二维光栅在动态干涉术中光能量利用不足的问题,使用标量衍射理论和傅里叶分析法对矩形正交位相光栅和棋盘型位相光栅......
为了实现斐索型干涉仪的动态干涉测试,研究了一种采用短相干光源的动态斐索干涉仪。以中心波长为638 nm、带宽为0.1 nm的二极管泵......
