精密工作台相关论文
对于磁悬浮系统中的悬浮部分，往往由于其中的涡流效应导致系统控制器设计的复杂性，并且由此设计出来的控制器很难达到较好的控制效果......
精密工作台是超大规模集成电路制造设备中的典型机构。在实验室设备的基础上，研制了一套精密工作台误差动态测试系统。该系统采用８０９８单......
提出一种利用收集极在三维空间内通过束流采样进行电子注分析的测量方法，介绍了电子注分析系统中三坐标精密移动工作台的设计与控制......
一种新型机床传动 据美国航空和航天管理局(NASA)的路易斯研究中心(Lewis Research Center)声称,他们在过去6年中研究的一种无齿轮......
通过对光刻机与激光精密工作台中的氮化钢与轴承钢制造的七种精密导轨进行油浴时效,氨气、氢气与低真空保护的消除应力退火试验,得......
本文根据大规模、超大规模集成电路微细加工超精密工作台的要求,提出了一种能作严格直线运动的微位移工作台,这种工作台由八根弹簧......
本文通过优化晶体弯曲过程的旋转点 ,理论上分析了弧矢聚焦晶体弯曲原理、弯曲所造成的系统误差以及弯曲过程中晶体面形精度的变化......
本文采用试验设计、方差分析等数理统计方法,研究了承载能力、气压、气垫结构等因素对导轨静刚度的影响。找出了气垫结构对静刚度......
对宽范围挠性支承精密调焦系统进行了设计研究，给出了挠性支承的设计计算方法及公式，设计了两级杠杆放大式挠性支承机构及相应的驱动......
压电／电致伸缩微位移器件与应用（下）蔡鹤皋，孙立宁，安辉（哈尔滨工业大学机器人研究所哈尔滨１５０００１）三、压电、电致伸缩位移器的应用１．在机械加工中......
介绍了自动扫描磨粒形态分析仪运动系统的设计、关键技术的解决途径及制造过程中的关键工艺问题的研究成果．
The design of the ki......
本文讨论爬行机理和临界速度,讨论了影响精密工作台爬行的各种因素,提出印字头测试仪精密工作台的防止或减少爬行的技术措施
This......
介绍了半导体位置敏感检测器件 PSD(Position Sensitive Detector)的工作原理、标定方法及测量实例。......
平面气垫导轨刚度的影响因素试验研究黄家贤（东南大学机械工程系南京２１００９６）在精密工作台中，由于运动速度和定位精度的不断提高，传统的接触式......
采用自适应跟踪探头聚焦轨迹算法研究了自适应聚焦技术，通过控制三维精密工作台实现了弧型电触头钎焊界面的 Ｃ扫描超声检测。对于弧......
报道了金刚石拉丝模激光打孔机的整机结构，介绍了该机的激光器系统、光学系统、精密工作台、检测系统和微机控制系统的性能，简述了打......
在精密工作台上,使用负压吸浮式平面气垫,可使工作台结构简单,并且具有较好的静动特性,易于实现高速度、高精度和高可靠性。是一种......
一、引言气体静压轴承由于采用粘度较小的气体作为润滑剂,因而具有摩擦阻力小,运动速度快,精度高,无爬行等特点。而且,气体可由支......
自吸式气体支承由于真空的吸附作用,使其具有双向刚度,可以提高精密工作台的结构工艺性能。在大规模集成电路专用设备MM250C中得到......
绪 言 气体静压支承采用 粘度较小的气体作为润 滑剂,具有以下几方面 的特点:(1)摩擦阻 力小,运动速度快; (2)运转平滑、精度高, ......
简介了测量原理，重点介绍了检测方法、操作步骤及对测量精度做了分析。最后指出了注意事项。
The principle of measurement is in......
日本国际电气公司研制成一台高精度自动曝光机供制备光掩模用。这台原图产生器制作的主掩模尺寸大小是器件尺寸的十倍。这台设备......
EBMF6.5型电子束曝光机是英国剑桥仪器公司1982年底的最新产品,是 EBMF6型机的改进型,笔者曾对该机作过考察。该机主要用于制作掩......
研究并设计了应用于母盘刻录机的高精密工作台伺服驱动环节。在基于DSP数字闭环控制器的基础上,通过理论建模、程序仿真和实验验证......
本文根据大规模和超大规模集成电路微细加工精密工作台的质量和刚度的实际分布情况,提出了一个多自由度系统的动力学模型,并采用近......
本文阐述了在光学分度头或精密工作台上,配以电感测微仪对工件进行圆度测量的方法,测量数据经微机处理,并绘制出误差曲线.作者还应......
本文叙述了电致伸缩效应、材料及器件结构原理.重点介绍了致动器近年来在精密机械、大规模集成电路设备、光通讯控制等方面越精定......
随着科学的发展和机械加工技术的进步,高精度和高分辨率的精密工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位......
该论文说明了差动变压器式传感器测量样本表面形貌的原理、现状及发展;综合分析了系统各部分的性能及其与所要求的指标之间的关系.......
随着精密机械加工水平的提高,对工作台定位精度及行程的要求越来越高。常见工作台无法兼顾大行程及高精度的两个指标。粗精两级驱......
生物芯片扫描检测系统是生物芯片应用的必备仪器，通过生物芯片扫描仪（检测仪器）可以将芯片上测定的结果转变成可供分析处理的图像数据......
根据位移叠加原理 ,提出了在横向力作用下精密工作台上加工点的位移公式
According to the principle of displacement superposi......
为给新型高速超精数控和微纳制造等装备的精密运动台的设计研制提供理论指导,解决高速高精运动平台的控制问题,首先建立了精密工作......
为实现母盘刻录机中光学头的精密进给,研制了精密微进给工作台及其伺服控制系统。利用线光栅作为工作台位移检测工具,采用数字比例......
为了提高精密工作台的轨迹跟踪精度和动态响应性能,基于辨识出的控制对象离散化模型,利用极点配置方法设计了精密工作台运动控制器......
本文根据位移叠加原理 ,提出了在水平载荷作用下数控六滑块精密工作台上加工点的位移计算公式
According to the principle of di......
精密工作台高加减速的运动反力作用于机台上,会引起机台机械共振,使轨迹跟踪精度降低、定位建立时间加长,针对这一问题,提出了基于......
为了提高精密工作台的轨迹跟踪精度和动态响应性能,基于辨识出的控制对象离散化模型,利用极点配置方法设计了精密工作台运动控制器......
根据位移叠加原理，提出了在水平及垂直力作用下精密工作台上加工点的位移计算公式。...
