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随着纳米技术的不断发展,微定位技术作为纳米技术的关键技术之一,已成为国内外关注的热点。以压电元件与全柔性机构相结合的微定位机构是目前常见的微定位设备。本文从构型设计、运动学分析、静力学分析、参数化有限元分析及实验控制等方面,对一种大行程结构一体化二维微定位平台(后面简称微定位台)进行了较为细致和深入的研究。具体研究内容和创新成果如下：(1)根据柔性机构的特点,采用微定位并联机构构型理论,在构型的多功能微驱动接口模块及二平动并联机构的基础上提出了一种新型两自由度大行程微定位平台。