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报道了ＧａＡｓ／ＩｎＧａＡｓ异质结双栅功率场效应晶体管的设计考虑，器件结构和制作，讨论了所采用一些关键工艺，给出了器件性能，在１２ＧＨｚ下，最大输出功率≥１３０ｍＷ，增益≥１２ｄＢ功率附加效率≥３０％。
12GHz GaAs／InGaAs异质结双栅功率场效应晶体管
【摘 要】
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报道了ＧａＡｓ／ＩｎＧａＡｓ异质结双栅功率场效应晶体管的设计考虑，器件结构和制作，讨论了所采用一些关键工艺，给出了器件性能，在１２ＧＨｚ下，最大输出功率≥１３０ｍＷ，增益≥１２ｄＢ功率附加效率≥３０％。
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1997年2期
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