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提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法 ,由两根光纤分别传输参考光和测试光 ,利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比 ,该方法结构相对简单 ,误差来源少 ,且不需要传统干涉仪中的高质量标准面 ,而是由光纤提供高精度的参考波面
光纤点衍射干涉仪的技术研究
【摘 要】
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提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法 ,由两根光纤分别传输参考光和测试光 ,利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比 ,该方法
【机 构】
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中科院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2001年02期
【基金项目】
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中科院重点基金! (ZG99Q 0 2 B)
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