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针对集成电路厂房生产工艺特点,介绍了其动力站冷冻水系统、压缩空气系统、空分制氮系统、热水系统、纯水系统及事故通风系统设计及设备选择。
集成电路厂房动力站系统设计
【摘 要】
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针对集成电路厂房生产工艺特点,介绍了其动力站冷冻水系统、压缩空气系统、空分制氮系统、热水系统、纯水系统及事故通风系统设计及设备选择。
【机 构】
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陕西同济土木建筑设计有限公司,西安热工研究院有限公司,山西大同大学建筑与测绘工程学院
【出 处】
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制冷与空调(四川)
【发表日期】
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2018年02期
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