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衬底表面处理对燃烧焰法沉积金刚石膜成核密度的影响
衬底表面处理对燃烧焰法沉积金刚石膜成核密度的影响
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:l100890628
【摘 要】
:
研究了衬底表面不同处理对燃烧焰法沉积金刚石成核密度的影响,发现用硬微粉(金刚石,碳化硅)对衬底的刻划。能明显地提高成核密度,在衬底表面涂覆机械泵油或先沉积薄类金刚石层也能
【作 者】
:
相炳坤
江关辉
【机 构】
:
南京电子器件研究所
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
燃烧焰法
衬底表面处理
金刚石膜
成核密度
Combustion Flame Substrate Surface treatment Diamond Film
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研究了衬底表面不同处理对燃烧焰法沉积金刚石成核密度的影响,发现用硬微粉(金刚石,碳化硅)对衬底的刻划。能明显地提高成核密度,在衬底表面涂覆机械泵油或先沉积薄类金刚石层也能显著提高成核密度。成核密度的提高有利于生长出连续金刚石膜。
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