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主要介绍了测试薄层电阻等值图所反映出ＩＣ离子注入工艺存在的种种问题，以及改进结果和进行有效的监控，这对ＩＣ生产是非常重要的。
IC离子注入工艺的薄层电阻等值图监控
【摘 要】
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主要介绍了测试薄层电阻等值图所反映出ＩＣ离子注入工艺存在的种种问题，以及改进结果和进行有效的监控，这对ＩＣ生产是非常重要的。
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2000年6期
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