【摘 要】
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介绍了气体微流量标准装置的不确定度评定与验证。测试结果表明:气体流量的校准范围为(17～1×10~(-5))PaL/s,不确定度为2%。
The uncertainty assessment and verification o
【机 构】
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中国航天工业总公司510所 高级工程师 730000
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介绍了气体微流量标准装置的不确定度评定与验证。测试结果表明:气体流量的校准范围为(17～1×10~(-5))PaL/s,不确定度为2%。
The uncertainty assessment and verification of gas micro-flow standard equipment are introduced. The test results show that the calibration range of gas flow is (17 ~ 1 × 10 ~ (-5)) PaL / s and the uncertainty is 2%.
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