氧离子注入p型(Be)-GaAs形成高阻层的研究

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:coolyl1979
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采用氧离子注入在p型(Be)-GaAs层中形成高阻层.根据I—V测量,光致发光测量,以及TEM方法观察的结果,得知载流子补偿主要与氧注入引入的损伤相关.当退火温度高于600℃时,由于损伤的恢复,所形成的高阻层开始向原来p型层转变.由于铍与氧的相互作用,高温退火将促进二次缺陷的形成与长大,使铍、氧共注入层的导电状态难以恢复到来注氧时的导电状态. A high resistance layer is formed in the p-type (Be) -GaAs layer by oxygen ion implantation. Based on the results of the I-V measurement, the photoluminescence measurement, and the observation by the TEM method, it is known that the carrier compensates the damage mainly caused by oxygen injection When the annealing temperature is higher than 600 ℃, the high resistivity layer begins to change to the original p-type layer due to the recovery of the damage.Because of the interaction between beryllium and oxygen, high temperature annealing will promote the formation and growth of secondary defects , The beryllium, oxygen co-injection layer conductive state is difficult to restore to the state of the oxygen injection.
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