【摘 要】
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针对微电子制造行业等领域中的长行程高精度定位问题，提出了一种刚柔耦合定位平台，并建立了其结构-运动-控制一体化动力学仿真模型。首先，根据刚柔耦合定位平台的结构特点对浮动坐标法进行修改，建立了简洁高效的动力学仿真模型。其次，结合动力学模型、3阶S型曲线和经典的PID控制方法建立了结构-运动-控制一体化仿真模型。最后，通过数值算例对仿真模型的有效性进行了验证。数值模拟结果显示，所建立的结构-运动-控制
【机 构】
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桂林师范高等专科学校物理与工程技术系
【基金项目】
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国家自然科学基金（11702065）资助项目；
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针对微电子制造行业等领域中的长行程高精度定位问题，提出了一种刚柔耦合定位平台，并建立了其结构-运动-控制一体化动力学仿真模型。首先，根据刚柔耦合定位平台的结构特点对浮动坐标法进行修改，建立了简洁高效的动力学仿真模型。其次，结合动力学模型、3阶S型曲线和经典的PID控制方法建立了结构-运动-控制一体化仿真模型。最后，通过数值算例对仿真模型的有效性进行了验证。数值模拟结果显示，所建立的结构-运动-控制一体化仿真模型能够有效地对定位平台的工作过程进行模拟，为后续的结构优化、运动规划、控制系统设计等工作创造条件。
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