【摘 要】
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为了提高检测微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)结构谐振频率的准确性,笔者针对湿汽对MEMS微结构影响的问题,进行了实验设计,并分析了MEMS微结构在振动载荷
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室,
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为了提高检测微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)结构谐振频率的准确性,笔者针对湿汽对MEMS微结构影响的问题,进行了实验设计,并分析了MEMS微结构在振动载荷下谐振频率的变化特性.结果表明,振动初期谐振频率的变化是由于MEMS微结构吸附及解吸附湿汽的作用造成的,而并非是由结构刚度的变化引起的.因此,利用谐振频率检测结构参数变化的实验中,考虑环境湿度的影响十分必要.
In order to improve the accuracy of detecting the resonant frequency of micro-electro-mechanical systems (MEMS) structures, the author designed the experimental design for the problem of the influence of moisture on the MEMS micro-structure, and analyzed the influence of MEMS micro-structure on the vibration load Resonant frequency.The results show that the change of resonance frequency is caused by the adsorption and desorption of moisture in MEMS microstructure and not by the change of structural rigidity.Therefore, In the experiment of change, it is necessary to consider the influence of environmental humidity.
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