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分析了载流子吸收对SOI材料制作的Y分支型Mach-Zehnder干涉型电光调制器／开关性能的影响，并提出了改进器件性能的一些措施。
载流子吸收对SOI Mach—Zehnder干涉型电光调制器性能的影响
【摘 要】
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分析了载流子吸收对SOI材料制作的Y分支型Mach-Zehnder干涉型电光调制器／开关性能的影响，并提出了改进器件性能的一些措施。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2002年12期
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