DMY-1型膜厚测量仪的原理与设计

来源 :清华大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:dzxxdzc2
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介绍了DMY-1型膜厚测量仪的原理与设计,给出了不同情况下膜层厚度测量公式,并对该仪器进行了实验,该仪器的测量精度:对于较薄膜为±2nm,对一般膜层为被测厚度的±2%~±5%。 The principle and design of DMY-1 film thickness measuring instrument are introduced. The measurement formula of film thickness under different conditions is given and the experiment is carried out on the instrument. The measuring accuracy of this instrument is ± 2nm for the thin film, The film thickness of ± 2% ± 5%.
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