【摘 要】
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介绍了DMY-1型膜厚测量仪的原理与设计,给出了不同情况下膜层厚度测量公式,并对该仪器进行了实验,该仪器的测量精度:对于较薄膜为±2nm,对一般膜层为被测厚度的±2%~±5%。
The principle and
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系,机械电子工业部第12所,机械电子
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介绍了DMY-1型膜厚测量仪的原理与设计,给出了不同情况下膜层厚度测量公式,并对该仪器进行了实验,该仪器的测量精度:对于较薄膜为±2nm,对一般膜层为被测厚度的±2%~±5%。
The principle and design of DMY-1 film thickness measuring instrument are introduced. The measurement formula of film thickness under different conditions is given and the experiment is carried out on the instrument. The measuring accuracy of this instrument is ± 2nm for the thin film, The film thickness of ± 2% ± 5%.
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