固相晶化相关论文
随着能源和环境问题的凸显,可再生能源,特别是光伏发电技术日益受到重视,但相对较高的光伏发电成本是光伏发电大规模普及的一大障......
多晶硅薄膜具有单晶硅材料较高电迁移率和稳定的光电性能等特性又与非晶硅薄膜一样可大面积低成本制备，因此在薄膜晶体管、微电子集......
作为绿色能源,太阳能电池在能源危机和环境危机的今天,突显其研究和应用价值。多晶硅薄膜集晶体硅和非晶硅材料优点于一身,克服了......
多晶硅薄膜由于具有较高的迁移率和较好的稳定性，近年来被广泛地应用于平板显示薄膜晶体管(TFT)的有源选址矩阵基板、高效长寿命薄......
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法制备掺硼非晶硅(a-Si:H)薄膜,然后用脉冲快速光热退火(PRPTA)法对其进行固相晶化。......
在镀铝的廉价玻璃衬底上高速沉积的非晶硅薄膜在不同的温度下退火10min.退火温度为500℃时,薄膜表面形成了硅铝的混合相, 非晶硅薄......
多晶硅薄膜是当前在能源科学和信息技术领域中广泛使用的功能材料，综述了多晶硅薄膜材料及其器件的特点、制备方法及研究进展．......
通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪检测铝诱导非晶硅薄膜的场致固相晶化的情况,分析了电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶......
用等离子体增强型化学气相沉积先得到非晶硅薄膜,再用卤钨灯照射的方法对其进行快速光热退火,得到了多晶硅薄膜,它与传统退火相比,......
提出一种氢等离子辅助固相晶化（hydrogen plasma assisted solid phase crystallization,H-SPC）多晶硅的新颖技术。这一晶化技术能够......
多晶硅薄膜是集晶体硅材料和非晶硅氢合金薄膜优点于一体,在能源科学、信息科学的微电子技术中有广泛应用的一种新型功能材料.本文......
采用RTA方法对PECVD沉积的a-Si：H薄膜进行固相晶化是近年来发展起来的一种制备多晶硅薄膜的新方法。通过研究不同退火工艺条件对薄......
本实验在铝诱导织构的基础上，对以AIT浮法玻璃为衬底沉积非晶硅薄膜固相晶化进行了初步研究。采用拉曼散射、X射线衍射等手段对生成......
近年来，随着可持续发展，环境保护等观念的深入人心，以及常规化石能源的日渐枯竭，太阳电池研究的主要任务转到了如何成为替代能源的方向......
本工作采用低压化学气相淀积（LPCVD）技术,在SiO2 表面上成功地制备了纳米晶粒多晶Si 薄膜。研究了淀积时间、衬底温度、反应气体压强......
玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池因具有成本低廉、转换效率高以及性能稳定等优点引起了人们的广泛关注。详细阐述了玻璃衬底多晶硅薄膜......
