硅微加速度传感器相关论文
通过对电容式和电阻式硅微加速度传感器的工作原理和特点进行分析比较,提出了一种二维硅微加速度传感器的设计方案,并经过实验,初......
基于微机械电子系统(MEMS)技术和硅材料的压阻效应,研制了一种具有对称梁膜结构的硅微加速度传感器.结合四甲基氢氧化铵(TMAH)各向......
本文介绍了体硅"掩膜-无掩膜"腐蚀的工作原理;以摆片式硅微加速度计敏感芯片的制作为例详细介绍了"掩膜-无掩膜"的工艺流程;利用该......
本论文以国家自然科学基金项目“基于蜘蛛振动感知机理的仿生多维微拾振构件及应用基础研究”(项目编号:50675193)为背景,基于MEMS......
硅微加速度传感器是微型机电系统(MEMS)领域里发展最早、最为成功的典范之一.从90年代初开始,部分产品进入批量生产.然而随着科学......
航空航天、武器装备等行业的不断发展,对硅微加速度传感器提出了更苛刻的要求:高可靠性、抗高过载、体积小、低功耗等等。在此背景......
山西科泰纳米技术有限公司是中国率先通过规范化的股份制运作,从事微电子机械系统(MEMS)产品产业化的尖端技术公司.公司的主要产品......
采用有限元方法,针对硅微加速度传感器的对称梁岛结构进行了力学特性分析,通过分析得出了该结构的尺寸对其位移量、谐振频率及模态......
本论文结合国家自然科学基金项目“基于蜘蛛振动感知机理的仿生多维微拾振构件及应用基础研究”(项目编号：50675193),首先通过生物......
在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分......
