微机械结构相关论文
本文将MEMS技术用于矢量水听器的设计与研制中，介绍了以微机械加工技术为基础的矢量水听器的工作原理与设计方法，具体分析了检测单元......
本文介绍了一种采用半导体刻蚀的微机械结构反射式光纤传感器,由其感受声音讯号,采用光纤将光投射到该结构上,其随声讯号产生振动,......
介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理.该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量,减小......
该文介绍了一种制作硅立体多层微结构的体微机械加工新技术。基于使用ＫＯＨ溶液的无掩模腐蚀特性，通过设计一块掩模版和进行一次有掩模到......
该文对硅压阻式加速度传感器的三种结构：悬臂梁、四梁和双岛－五梁的空气阻尼问题进行了研究。从决定平板运动阻尼特性的Ｒｅｙｎｏｌｄｓ方程出发，在平......
在使用无掩模腐蚀制作硅微机械结构时,其结构凸角的削角特性有别于常规有掩模腐蚀时的情况.本文通过分析和实验,研究了该情况下凸......
微机电系统(MEMS)在研究领域已经有很长历史了,但一直没有真正进入大规模产业化阶段.而现在将硅芯片和微机械结构结合在一起的光学......
在使用无掩模腐蚀制作硅微机械结构时，其结构凸角的削角特性有地常规有掩模腐蚀时的情况。本文通过分析和实验，研究了该情况下凸角削......
本文介绍了一种新结构的硅一体化微加速度传感器，理论和实验结果表明，这种传感器与传统硅微机械结构加速度传感器相经具有温度特性好......
<正> 近年来发达国家对微系统工程的研究与开发十分活跃。在高新技术领域开拓了一条崭新的道路。从世界范围来看,美国领先,德国随......
我们发现在标准CMOS工艺中有许多工艺可应用到微机械结构的制造中去.仅仅增加一步无需掩膜的KOH腐蚀工艺,用工业化3微米CMOS工艺(......
微机械振动陀螺是新型的惯性元件.其误差源主要有微机械结构的Brownian噪声、电路噪声、机械耦合误差,以及电子机械耦合误差等.这......
分析了在微机械传感器与执行器中常用的3种微机械结构在静电力作用下的静态位移特性，并对典型结构进行了数值计算。结果显示对质量......
微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一......
本文介绍了一种制作硅多怪微结构的体微机械加工新技术。基于ＫＯＨ溶液的无掩模腐蚀特性，仅用一层掩模进行一次从在掩模到无掩模的连续腐......
在自由式微结构如束、振动膜和过载传感器的制造过程中，经常遇到的一个难题是分离开粘连在衬底上的微结构。这种同象出现在牺牲腐蚀......
微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标,直接影响器件和构件的特性,目前要求台阶测量应具有纳米级精度......
随着微纳制造技术的发展,产品质量控制已经成为研究的热点。针对微机械结构内部缺陷检测难题,提出一种新型的超声—激光全息复合无......
1项目负责人及所在单位：尚德广,北京工业大学2起止年限：2006年1月～2008年12月3项目简介MEMS产品在汽车、航空航天、医疗器械等诸多领......
低温共烧陶瓷技术是实现电子设备小型化和高密度集成化的主流封装/组装集成技术,产品可适用于高温等条件下的恶劣环境。讨论了微机......
本文介绍了利用ＫＯＨ腐蚀液对硅台阶、台面等三维结构进行无掩膜腐蚀的新技术．应用该技术可以制作出仅用常规各向异性腐蚀所无法形成的微......
