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微机电系统(MEMS)在研究领域已经有很长历史了,但一直没有真正进入大规模产业化阶段.而现在将硅芯片和微机械结构结合在一起的光学......
微机械振动陀螺是新型的惯性元件.其误差源主要有微机械结构的Brownian噪声、电路噪声、机械耦合误差,以及电子机械耦合误差等.这......
微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标,直接影响器件和构件的特性,目前要求台阶测量应具有纳米级精度......
随着微纳制造技术的发展,产品质量控制已经成为研究的热点。针对微机械结构内部缺陷检测难题,提出一种新型的超声—激光全息复合无......
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