硅微加速度计相关论文
六轴静电悬浮的硅微加速度计以其低量程、高分辨率和多轴集成等特点,在微小航天器的无拖曳控制、微重力测量等方面有着独特而重要......
本文探讨了硅微加速度计的系统设计方法,采用专用MEMS设计软件建立了"三明治"式硅微加速度计自顶向下的系统模型,该模型对于硅微加......
研究了微加速度计的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点.在研究检测微小......
硅微加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势.本文阐述......
本文提出了基于数字信号处理器TMS320F2810的数字控制、PWM静电力反馈硅微加速度计方案．介绍了该方案的基本工作原理，建立了相应的闭......
由封装结构热失配引入的应力和结构变形会对MEMS器件性能产生显著影响,即热致封装效应。为描述该效应,一种基于缩减刚度矩阵的层合......
根据目前微观性测量单元MIMU中硅微机械陀螺仪和加速度计的主要技术性能及A/D转换技术的现状,提出了基于高集成度、低功耗和6通道1......
应用ANSYS软件对MEMS器件——八悬臂梁硅微加速度计的横向灵敏度进行了仿真。仿真时分别在此器件的X轴、Y轴、Z轴单独加一个加速度......
针对隧道效应对位移具有极高灵敏度的特点,设计了一种隧道式硅微加速度计.在介绍其结构和工作原理的基础上,提出了一种新的加工工......
环境温度对硅微加速度计的检测精度具有较大影响，并最终影响导航系统的精度。因此，准确标定环境温度对微加速度计使用性能的影响，并建......
给出了硅微加速度计基于虚拟现实技术的实现步骤,并在基于微机实验平台上创建了其虚拟环境,通过拟实运行验证了将虚拟现实技术应用......
静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率。设......
首先介绍了硅微加速度计机械部分的工作原理及电容检测方法,同时分析了整个电路系统框图,然后构建出硅微加速度计系统总体结构,并......
本文研究了一种隧道式硅微加速度计隧道电流处理电路.与多数处理电路不同的是,本文以精密仪表运放为核心,设计了一种低温漂,高放大......
本文介绍了硅微型扭摆式静电力平衡加速度计的工作原理、结构设计、制备技术及测试方法，这对于研制硅微型加速度计具有一定的参考价......
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考虑环境温度会影响硅微谐振加速度计（MSRA）的测量精度,本文研究了谐振梁的频率漂移及抑制方法以便提高其在常温下的零偏稳定性。针......
针对扭摆式加速度计的结构特点,为了有效利用硅片面积和提高质量块质量,设计了一种新型挠性轴内置于质量块的扭摆式加速度计,该结......
介绍一种悬臂梁式硅微加速度计的结构与工作原理,并利用ANSYS软件进行了仿真模拟。采用体硅“无掩膜”腐蚀技术,对设计出的敏感芯......
加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透，硅微加速度计已逐渐崭露头角并受到广泛的......
近年来，随着我国国防事业，工业，环境保护，自动控制等行业的高科技产业化发展，硅微加速度计的发展也因其体积小，高可靠性，易于集成，可大规模......
集成电路及MEMS技术的高速发展，极大地促进了硅微惯性传感器的开发与应用。目前在各个领域，硅微惯性传感器正呈现商业化、产业化的应......
