【摘 要】
：
本文介绍了体硅"掩膜-无掩膜"腐蚀的工作原理;以摆片式硅微加速度计敏感芯片的制作为例详细介绍了"掩膜-无掩膜"的工艺流程;利用该方法成功制作出摆片式硅微加速度传感器的对
【机 构】
：
西安微电子技术研究所,西安,710054
【出 处】
：
第九届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本文介绍了体硅"掩膜-无掩膜"腐蚀的工作原理;以摆片式硅微加速度计敏感芯片的制作为例详细介绍了"掩膜-无掩膜"的工艺流程;利用该方法成功制作出摆片式硅微加速度传感器的对称梁-质量块结构.经测试该加速度计性能如下:量程±50g,分辨率3×10-3g,非线性＜5×10-4,重9.6g,具有广阔的应用前景.
其他文献
最近几年国内儿童铅中毒防治工作受到了政府部门、广大预防医学工作者、广大儿科医师、儿童保健医师及社会各界的广泛关注和重视。近几年我国儿童铅中毒防治工作取得了较大的
肝癌在2000年已上升为全球第三位癌症杀手(Parkin等2001),我国自20世纪90年代即为第二位癌症死因.以现代科学为基础的肝癌研究已有百余年历史,肝癌临床的进步先后得益于病理
本文对一种通过微机械加工工艺制备出的专用角速率传感器环境温度、稳态湿热、抗振动,抗冲击等环境中进行测试,结果表明该传感器的零位输出电压随环境温度的变化较小,经过稳
良好稳定性和大量程设计一直是困扰微惯性加速度计研制的两个难题,本文对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,对加速度计各参数对量程
本文利用ANSYS软件对旋转腔体中以不同流速流动的射流,在二维腔体中形成的气流场进行有限元分析.经建模、设定边界条件、求解后,得到各个流速流场的速度矢量分布图和固定位置
集成应力传感测试芯片是测量片上应力分布的有力工具.本文研究基于(111)硅片的全分量MOSFET应力传感器.相比于压阻型,MOSFET具有灵敏度高、占用面积小、与传统CMOS工艺兼容的
本文提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,它具有驱动电压低、体积小、结构紧凑,易于集成,能够采用标准的CMOS集成电路作为激励信号源等优点.该微型电场传感器采用PolyMUMP
本文从激振电阻和传感器物理结构两个方面对热激励氮化硅梁谐振式压力传感器输出温漂特性进行了分析.对不同器件的测试证实了分析结果.针对电热激励硅微梁压力传感器的温漂特
DOI：10.16660/j.cnki.1674-098X.2017.14.060 摘 要：随着科技的不断进步，人们的生活越来越智能化，电力企业也逐渐走向智能化时代，新型的智能变电站对于电力的技术管理系统要求很高，新型的智能变电站可以有效地提升继电保护系统的工作效率。当下的电网发展前景，智能变电站的继电保护系统得到了广泛的应用。该文首先分析了智能变电站的定义，同时阐述了智能变电站继电系统的正常运
本文提出力平衡式微机械加速度计系统一种数字式实现方法,利用单片机AT89c2051产生方波,控制模拟开关,实现电容电压(C-V)转换,并用单片机ADμc812对C-V转换电路输出信号进行