负型光刻胶相关论文
为满足我国电子工业采用大规模集成电路的需要,我厂和清华大学以及有关单位密切协作,初步试制成负型光刻胶302。负型光刻胶302是......
东芝开发出了用于EUV(Extreme Ultraviolet)曝光的负型低分子光刻胶(Resist),并公布了对线宽/线间隔(L/S)为22 nm的图案进行解像的......
一、引言刻制光学度盘,一般采用刻划镀铬工艺,如果批量大,则可采用先用刻划的方法制得母版,再用虫胶镀铬工艺进行大量复制。可是,......
设计了一个2×2的多模干涉.马赫曾德干涉仪型(MMI-MZI)波导热光开关,选用一种可交联的负型光刻胶作为波导芯层,利用光刻版掩模紫外曝......
液晶显示器已经成为当今的主流显示器,几乎无处不在。在这样的大环境下,中国大陆的液晶显示器制造公司如雨后春笋,大批涌现。但是,......