紫外曝光相关论文
微纳流控芯片是将微米结构和纳米结构集成为一体的多功能芯片,在基因测序、生化分析和环境检测等方面展现出广阔的应用前景。目前,......
纳米加工技术是人类了解微观世界的工具,但加工能力往往受设备所限。碳纳米管作为一种新型纳米材料,具有很多独特的物理性质。本文......
光纤光栅是一种重要的光无源器件,在光纤传感和光纤通信方面具有重要的应用。微结构光纤作为近年来出现的一种新型光纤以其独特的光......
在基于UV-LIGA 技术的大高宽比微细结构的加工技术中,接近式紫外光刻工艺会因衍射效应而使掩模图形在复制过程中产生图形失真,从而......
将不同结构单体液晶分别添加到相同混合液晶中时,混合液晶的功耗电流与单体结构液晶有很大的相关性。通过试验方法对6个系列的单体......
利用准分子激光逐点写入法对裸光纤进行曝光,制作周期为298 μm的长周期光纤光栅,光栅透射损耗峰最小半宽6 nm.对激光器等制作工艺......
基于偏振敏感型光时域反射(POTDR)的分布式光纤振动传感系统,具有连续分布式监测、响应速度快、探测灵敏度高等优势,在大型基础设......
制作了基于B-Ge光纤的Bragg光栅,并且提出对光栅进行紫外曝光修整的处理方法.这种方法对光栅的中心波长、光谱形状、边模抑制比具......
为降低硅中阶梯光栅制作工艺中顶角平台对光栅衍射效率的影响,提出了“紫外曝光一倒置热熔”结合法用于制备具有小占宽比的光刻胶掩......
基于光纤布喇格光栅(Fiber Bragg Grating——FBG)的温度传感器由于具有波长编码测量、抗电磁辐射、轻巧、灵活等优点而被广泛地应......
ue*M#’#dkB4##8#”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:(100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
为实现曝光系统均匀照明的目标,基于非成像光学,提出了一种阵列型模组的匀光照明系统优化设计方法。该方法首先通过对单模组的光学......
本文主要合成了一系列的烯基烷氧基偶氮苯分子。合成这些分子的过程中涉及到了酚羟基的醚化、硝基的还原、芳胺的保护、芳胺的重氮......
本文主要叙述了单层胶剥离工艺及其原理,并对这项技术的关键问题进行了分析.文章还报导了剥离技术在Pb合金约瑟夫逊隧道结中的应用......
随着科学技术的不断发展和人类生活水平的不断提高,近年来出现了各种各样的传感器。高精度位移传感器是一种新型的传感器,相对于其......
目前,数字喷墨打印技术正成为一种多样化替代传统化学蚀刻工艺直接成图的手段。配备有最新压电式喷头和UV曝光装置的前沿工业级喷......
非线性光学(NLO)作为一门新兴学科,在激光技术、光学通讯、数据储存、光信息处理等方面有着十分诱人的应用前景。与无机NLO材料相比......
以钛酸丁酯和苯甲酰丙酮为原料,经sol-gel工艺,获得具有负性光刻胶性质的TiO2光敏凝胶薄膜.它的敏感波长在360nm附近,与反应生成的......