远紫外光刻相关论文
研制成了一种新型催化剂,它由普通小分子有机化合物(如甲基紫等)和CMPS树脂,一起溶解在一定的溶剂中配制而成.用此催化剂做了远紫......
随着芯片特征尺寸的减小,光刻成像技术的不断提高,而关键尺寸(CDs)的缩小则产生了更为精确的套刻精度.这些套刻精度在已随着工作台......
本文介绍了一种高分辨率、多功能的曝光系统。着重阐述了光学系统设计中对柱体蝇眼透镜组和冷反射镜的考虑，并对与光学系统相匹配的......
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阐述了深紫外光刻技术和Ｘ射线光刻技术的发展，一些相关单元技术，以及深紫外和Ｘ射线光刻技术的前景。......
