精密工作台相关论文
介绍了半导体位置敏感检测器件 PSD(Position Sensitive Detector)的工作原理、标定方法及测量实例。......
随着科学的发展和机械加工技术的进步,高精度和高分辨率的精密工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位......
随着精密机械加工水平的提高,对工作台定位精度及行程的要求越来越高。常见工作台无法兼顾大行程及高精度的两个指标。粗精两级驱......
生物芯片扫描检测系统是生物芯片应用的必备仪器，通过生物芯片扫描仪（检测仪器）可以将芯片上测定的结果转变成可供分析处理的图像数据......
根据位移叠加原理 ,提出了在横向力作用下精密工作台上加工点的位移公式
According to the principle of displacement superposi......
为给新型高速超精数控和微纳制造等装备的精密运动台的设计研制提供理论指导,解决高速高精运动平台的控制问题,首先建立了精密工作......
为实现母盘刻录机中光学头的精密进给,研制了精密微进给工作台及其伺服控制系统。利用线光栅作为工作台位移检测工具,采用数字比例......
为了提高精密工作台的轨迹跟踪精度和动态响应性能,基于辨识出的控制对象离散化模型,利用极点配置方法设计了精密工作台运动控制器......
本文根据位移叠加原理 ,提出了在水平载荷作用下数控六滑块精密工作台上加工点的位移计算公式
According to the principle of di......
随着精密和超精加工技术的进步,需要更高水平的设备检测微表面质量。表面粗糙度是一个重要指标,表面粗糙度测量仪从二维到三维实施......
直线型超声电机具有可直接驱动、精度高、响应快、适用于真空环境等优点,但驱动力较小.为提高工作台的负载能力,该文提出并研制了......
为提高压电陶瓷驱动的微定位工作台的模型精度，提出了一种基于动态递归神经网络的建模方法。压电陶瓷具有极高的位移分辨率，但存在着......
本文根据位移叠加原理,提出了在垂直载荷及力矩载荷作用下数控六滑块精密工作台上加工点的位移计算公式.为求解其它载荷作用下精密......
在超精密磁悬浮工作台中,作为衔铁被悬浮的工作台,如果可以不采用硅钢片而直接使用实心铁磁材料,则可以大大简化加工工艺,并提高工......
为了提高压电陶瓷驱动的精密工作台的定位精度，提出了一种基于自校正理论的PID控制方法。分析了工作台的动态迟滞模型，辨识了工作台......
为了提高精密工作台的轨迹跟踪精度和动态响应性能,基于辨识出的控制对象离散化模型,利用极点配置方法设计精密工作台运动控制器的......
随着精密工作台运动速度和精度的进一步提高，对工作台的控制系统的要求也越来越高。本文针对微器件装配系统中粗动精密工作台的控制......
介绍了以长、圆光栅副为检测元件，步进电机为驱动部件，8098单片机为核心的滚珠丝杠导程误差的检测系统。误差计算采用分频比相法，分频......
研制了一种六维宏微位移可控精密工作台.设计中采用粗精分离的原则,有利于提高工作台的精度,并减小了研制难度.宏位移使用精密燕尾......
高密度母盘刻录是数据存储中的关键技术.对母盘刻录系统的工作原理、结构组成及控制方法进行了分析研究,提出了基于DSP中央处理器......
本文根据可靠性原理,导出了精密滚动直线导轨系统额定寿命的计算方法,具有重要的工程应用价值.......
为提高压电陶瓷驱动的微定位工作台的精度和速度,设计了一种基于迟滞状态观测器的自适应控制系统.在分析压电陶瓷迟滞非线性特性和......
根据位移叠加原理,提出了在垂直载荷及力矩载荷作用下数控6滑块精密工作台上加工点的位移计算公式.为求解其他载荷作用下精密工作......
针对扫描隧道显微镜工作台高精度控制的需求，设计了一种基于神经网络理论的控制系统，其微位移工作台由压电陶瓷驱动器和柔性铰链机构......
研究旋转型超声电动机在线性坐标平台和旋转坐标转台中的应用技术。介绍所研制的TRUM45旋转型超声电动机的工作原理及其优点。介绍......
设计了一种以直线电机进行双边驱动、以单侧气浮导向的精密运动平台，并对系统进行了动力学建模和分析，得到了系统特性与几何尺寸、质......
提出了一种基于神经网络理论的微位移工作台控制方案。该工作台以压电陶瓷作为微位移驱动元件，对伺服电机大位移进行位移补偿。分析......
分析研究了分别采用钢、铝、氧化铝陶瓷、石英陶瓷四种材料的精密直线电机驱动平台的温升、热变形、变形受室温变化的影响、到达热......
随着科技的进步,微定位技术逐渐被应用到生产和生活的各个方面,精密定位系统的研究也变得更加深入与全面。压电陶瓷作为精密定位器......
本文介绍了一种新型的精密工作台定位控制系统。本控制系统采用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法完成对工作台的定......
超精密磁悬浮工作台的磁悬浮部分的设计,将直接影响到系统的动力学性能、空间结构以及热性能等。针对这些性能上的要求,给出了一种......
针对死区效应会导致永磁同步直线电机相电流失真、推力波动,从而限制其在精密气浮工作台等高精度、低频轻载场合应用的问题,提出了......
给出了一个磁悬浮工作台的结构设计、建模、控制器设计、实时控制试验和试验结果.与国际上已有的类似研究相比,给出的方案使磁悬浮......
<正>国内外发展状况位置检测技术及数显技术是我国重点发展和推广的新技术。多年来在航空航天、精密机械仪器、数显数控机床等领域......
针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有阻尼、抗扰性能差的特点,为了抑制各种线缆扰动和直线电机推力波动的影响,提高工......
针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有机械阻尼、抗扰动性能差的特点,为了在较短的位置伺服周期内(110μs)抑制工作台......
三轴联动精密工作平台是激光显微镜机械系统中载物的关键部件。工作平台采用多层式结构,以压电陶瓷直线电机作为驱动,由双对称滚珠......
随着微机电系统的快速发展，需要不断研究能够产生各种精细图形和微结构的加工技术。电子束曝光技术是目前公认的最好的高分辨率图形......
压电陶瓷存在着迟滞非线性特性,而且在运行过程中,特性的变化规律也是未知的、不确定的,难以用传统方法获取既有足够精确性又不至......
本文以当前比较先进的一些微细加工设备所采用的精密工作台系统为例,介绍了精密工作台的基本结构形式,导轨的种类,并概略地介绍了......
激光划切机能在高速加工情况下切割LED晶圆获得干净的断裂面．形成窄而深的激光划切槽，要达到这样的工艺效果就要求激光划切工作平台N......
