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110nm技术节点相关论文

用于先进的双嵌入和栓工艺的低缺陷钨GMP高性价比浆料

介绍了用于钨双嵌入和钨栓CMP工艺的新型CMP3200TM氧化铝浆料,测试证明,这种浆料在110 nm技术节点的钨CMP工艺应用中取得了理想的......

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钨双嵌入工艺钨栓工艺 CMP浆料高性价比低缺陷率 110nm技术节点 W Damascene Processes W Plugs Processes CM

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