CHP浆料相关论文
叙述了新一代CMP浆料的过滤工艺和方法.低比重和极小平均粒子尺寸的二氧化硅、氧化铝及氧化铈磨料在这些浆料中要求严格地控制在0.......
介绍了用于钨双嵌入和钨栓CMP工艺的新型CMP3200^TM氧化铝浆料，测试证明，这种浆料在110nm技术节点的钨CMP工艺应用中取得了理想的效......
现已开发出了用于浅沟道隔离(STI)、铜CMP和低κ介质的新型材料。90nm以及下一代技术节点的新型器件要求在软接触CMP条件下减少缺......
