钨双嵌入工艺相关论文
介绍了用于钨双嵌入和钨栓CMP工艺的新型CMP3200TM氧化铝浆料,测试证明,这种浆料在110nm技术节点的钨CMP工艺应用中取得了理想的效......
介绍了用于钨双嵌入和钨栓CMP工艺的新型CMP3200TM氧化铝浆料,测试证明,这种浆料在110 nm技术节点的钨CMP工艺应用中取得了理想的......
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介绍了用于钨双嵌入和钨栓CMP工艺的新型CMP3200^TM氧化铝浆料，测试证明，这种浆料在110nm技术节点的钨CMP工艺应用中取得了理想的效......
