CVD设备相关论文
套管工艺一般是预制棒和空心石英管组合熔缩,在预制棒的外表面套一根壁厚的石英管,经过高温熔融,在抽取真空的辅助作用下完成大棒......
本发明公开了一种纳米硅薄膜，其采用等离子化学汽相沉积法，在PECVD设备中生长制备，产品的晶粒大小为d=（2—6）纳米，晶态体积百分比Xc=（53&#......
沈阳科仪“IC成膜PECVD设备研发和产业化”项目近日通过验收，PECVD部总经理姜谦表示，沈阳科仪将以高品质的PECVD设备服务客户。......
瑞士Ionbond公司在减摩与低磨擦涂层技术方面处于国际领先地位。该公司在全球设有38个涂层服务中心和设备销售代理商,其中在中国设......
由于高效气冷空心叶片内腔的结构越来越复杂,采用物理气相沉积(PVD)和等离子喷涂(PS)技术不能进行空心叶片内腔冷却通道的涂层防护......
