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摘要： 非晶硅薄膜太阳能电池主要采用掺氟氧化锡（FTO）导电玻璃作为基板，但FTO薄膜雾度较低、表面形貌无法优化，导致无法得到较优的陷光......
用浸没的湿法刻蚀方法,以熔石英为基板刻蚀材料,用优化配方的HF刻蚀液进行刻蚀,研究了HF刻蚀一维光栅台阶的斜坡陡度.分析了台阶斜......
采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法，利用(110)硅片结晶学特性，通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺，在硅片上同时制作出......
