微反射镜相关论文
提出了一种新型静态傅里叶变换光谱仪(FTS)。在该光谱仪的干涉系统中,采用两个具有周期性结构的微反射镜代替马赫-曾德尔干涉系统......
光源掩膜协同优化是45 nm节点以下浸没式光刻提高分辨率的重要途径之一,为了重构其优化后输出的像素级光源,提出了一种基于可寻址......
提出了一种基于准分子激光制备45°微反射镜的新方法──激光阶梯刻蚀法,介绍了该方法的工艺流程。通过优化参数制备了微反射镜样......
光开关(Optical Switch，简称OSW)是光纤通信中的一种重要光无源器件。随着通信容量的飞速增长，具有高度生存性的智能光网络成为未来......
由于系统装调与器件定位精度的限制,空间调制傅里叶变换光谱仪中的两个多级微反射镜在对准过程中会产生相对位置的平移和旋转。为......
为了进一步实现傅里叶变换红外光谱仪的微小型化,在基于多级微反射镜的傅里叶变换红外光谱仪结构中引入空间光调制器与点探测器。......
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构......
通过各向异性湿法腐蚀工艺利用(110)硅片制作了8×8阵列光开关的微反射镜阵列,反射镜面为{111}面,表面粗糙度低于10nm, 垂直度好于......
采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结......
介绍了微光学自适应技术中基于PZT（PbZrxTi1-xO3）薄膜的微反射镜单元及其制作工艺。该制作过程中用重掺杂硅片作为基底和下电极，采用......
为了改善微反射镜存在的驱动电压高、驱动力小的缺点，基于双金属效应，制得可调焦微光学自适应阵列。以硅为基底，先后经过热氧化、光刻......
设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关，开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用（110）硅片制作，其......
从经典二阶振荡系统的传递函数入手,根据MEMS反射镜的开环瞬态响应实验,对模型的参数进行辨识,考察了模型在静态状况下静电力和弹......
对MEMS光开关的悬臂驱动结构进行了设计，考虑到采用湿法腐蚀技术制作的微反射镜与设计尺寸偏差较大，会对光开关的性能产生一定影响，提......
DLP投影技术比之LCOS和GLV投影技术来说已经不是什么新鲜的技术了,但从实用角度讲,DLP投影机已能与家庭影院爱好者们同行,不似后两......
采用体硅微机械加工方法,通过光刻、反应离子刻蚀和氢氧化钾水溶液湿法刻蚀等工艺,根据(110)硅片结晶学原理,在(110)硅片上制作出......
采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法，利用(110)硅片结晶学特性，通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺，在硅片上同时制作出......
我们首先介绍了三维微机电系统(MEMS)作为光交叉连接设备(OXC)的总体结构以及微反射镜角度偏转的物理原理.然后根据应用在三维MEMS......
研究了一种可用于微反射镜制作的光亮镀镍工艺。分析了微小面积电镀时出现边缘效应的问题,提出了增加牺牲结构的方法提高沉积速率......
研究了光子晶体作为陀螺谐振腔空间微镜的应用,基于平面波展开法计算了光子晶体能带结构和带隙分布图,利用时域有限差分方法对三角......
自适应光学技术在天文观测、强激光、光束合成、激光通讯和医学检测等领域有着广泛的应用前景。变形镜作为自适应光学系统的核心部......
本文设计了一种用于激光偏转扫描的微反射镜 ,使用微结构对激光光束实现高频率、高效率、大角度偏转。通过理论计算 ,该微反射镜可......
期刊
<正>加拿大的反向工程服务商Chipworks最近拆解了一台从联想(Lenovo)Yoga15超轻薄笔记本电脑拆卸下来的英特尔(Intel)的Real Sense......
将微机电系统（MEMS）与光器件融合于一体的微光机电系统（MOEMS）是MEMS的一个重要的研究方向，它采用微细加工的技术手段，把微光学器件、微......
自适应光学系统制造困难,这其中最复杂,也最具有代表性地部分是变形镜。用传统方法制作变形镜成本很高,现在出现一种值得重视的发......
基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱动电压低、偏转角度大等优点,在激光敌我识别和光通信等领域都有着广泛的应用。该......
传统自适应光学利用大镜面的形变等方法来实时校正因大气扰动等原因所引起的波前畸变，从而获得清晰成像。但由于单元变形镜面大，控制......
对应用于微反射镜制作的叠层光刻胶牺牲层工艺及微反射镜表面残余应力控制进行了研究。讨论了光刻胶牺牲层在电镀时的污染问题，提出......
