光刻机工件台相关论文
光刻机已成为决定性的半导体制造设备,作为光刻机最重要的部件之一,工件台的运动精度决定了半导体芯片的制造精度。步进式光刻机的......
柔性结构的多输入多输出（Multiple input multiple output,MIMO）运动系统的辨识方法是一个具有理论研究和工程应用价值的问题。随着......
为了满足光刻机工件台控制系统储存大量控制算法函数以及重要数据参数的要求,在分析了工件台控制系统主控模块的基础上,提出了一种......
为了有效地降低GB(Gain Balance)解耦矩阵对光刻机工件台运动精度的影响,提出了一种基于传递函数法的工件台微动台GB解耦矩阵校准......
光刻机是IC制造业的核心装备,而工件台掩膜台系统又是工件台系统中运动控制的核心组成部分,具有扫描、上下片、定位、调平调焦等一......
本文针对光刻机工件台技术中所要求的指标,建立了系统的电机模型,设计出终端控制系统,采用三环控制策略,并进行了宏动跟微动的控制......
光刻机工件台控制系统是一种典型的分布式控制系统,定位精度和运动精度要求达到纳米级,其复杂的控制系统要求具有强实时性和高度同......
双工件台是光刻机的重要部分,为了保证其曝光的准确性,提出一种基于FPGA和DSP的工件台自转电机的控制系统设计方案。详细介绍了控......
