微光电子机械系统相关论文
摘 要：针对非本征F-P干涉仪式光纤声压传感器中的声压敏感薄膜性能提升，设计并制备了不同厚度和不同增敏环数的声压敏感薄膜结构。对......
目前，在微电子和微机械装置的作用下，微光机械系统(MOEMS)传感技术在很多领域被研究应用，该系统以其体积小、成本低、可靠性高、智能......
论文以InP基“全空气/半导体”结构有源“微光电子机械系统(MOEMS)”当前研制中所面临的问题为出发点，首次提出并建立了一种新型的......
概述了MOEMS光学系统的种类和特点,介绍了几种主要的MOEMS光学产品、机理和应用方向,阐明了其作为光电技术的前沿所具有的重要作用......
设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关，开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用（110）硅片制作，其......
近日，国家“863”专家组在北京主持召开了“基于微光电子机械系统(MOEMS)无阻塞16×16阵列光开关”项目验收会，该项目是由上海光......
概述微光电子机械系统（MOEMS）技术发展历史，分析其现状。以美国陆军研究开发和工程指挥部的“战略研究规划”中的7个研究领域为例，分析......
“基于微光电子机械系统（MOEMS）无阻塞16×16阵列光开关”项目是中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室和上海交通大......
微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类......
上海光机所信息光学实验室和上海交大微纳米技术研究院的研究人员最近研制成功了一种基于微光电子机械系统(MOEMS)的无阻塞16×......
研制了一种小体积、低成本及可扩展的低电压1×8微机械电子系统(MEMS)光开关.由5 V电压驱动电磁机构动作,带动微反射镜绕直径1......
概述了晶圆键合技术(WB)和微电子机械系统(MEMS)的新进展.介绍了晶圆键合工艺、技术要求、应用选择以及对MEMS的作用;展示了MEMS制......
