微机械惯性仪表(包括微机械加速度计,Micro-Mechanical Accelerometer和微机械陀螺仪,Micro-Mechanical gyroscope)是以IC工艺和微......

设计、制造了一种单片集成三轴硅微机械振动陀螺仪.该器件由两个结构完全相同的单轴水平陀螺仪和一个单轴垂直陀螺仪组合而成,三只......

介绍了微机械振动陀螺仪的结构特点及工作机理，建立了其力学模型，并在此基础上，对原理误差进行了定性的分析，得出了影响其精度的主要干......

本文在简要介绍微机械振动陀螺仪工作原理的基础上,分析影响陀螺仪性能的正交误差所产生的原因,推导其内在的数学机理,并探讨抑制......

相比于传统陀螺仪,MEMS振动陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、价格低廉等优势,但是由于其本身结构的局限性和工艺加工水平的限制......

为了提高微机械振动陀螺仪输出信号的灵敏度，通常要求驱动信号频率与陀螺仪驱动模态的谐振频率相匹配，且驱动信号幅值稳定。驱动电压......