微机械加速度计相关论文
在现代航空、航天、陆地车辆以及舰船的导航和控制上都需要确定载体的姿态。姿态确定中使用最广泛的传感器是陀螺，但是高昂的价格限......
微机械惯性仪表(包括微机械加速度计,Micro-Mechanical Accelerometer和微机械陀螺仪,Micro-Mechanical gyroscope)是以IC工艺和微......
微加速度计是一类重要而且应用广泛的微机电器件，其性能的好坏除敏感芯片的设计与加工以外，很大程度上取决于接口控制电路的设计。同......
微机械加速度计作为一种重要的惯性器件，在汽车、消费电子、惯性制导等方面有广泛的应用前景。性能指标的提高一直是微机械加速度计......
本课题来源于微机械加速度计中反馈控制的需求。加速度计的反馈方式一般分为静电反馈和磁反馈。静电反馈容易控制、精度高，但静电力......
方波激励下的环形二极管电容检测电路应用于微机械加速度计是一种新的尝试。根据实践,该方案可以很好地在闭环系统中工作。该文建......
微机械加速度计作为微机电系统（MEMS）的一个重要产品，目前已经得到了广泛应用。本文首先从整体上提出了微机械加速度计的工作原理和数......
本文提出了一种基于ICP刻蚀以及静电键合工艺的新型微机械加速度计结构，并通过MATLAB软件对该加速度计系统进行了仿真．这种框架结构......
提出一种双轴电容式微机械加速度计的结构形式．采用一个质量块敏感两个正交方向的加速度，设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的......
分析了硅基谐振式微机械加速度计的工作机理，提出了一种新颖的结构形式，进行了结构的优化设计和仿真计算。用MATLAB软件分析了结构参......
谐振式微机械加速度计直接输出频率信号,具有稳定性好、精度高的特点。分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,建立了第一级敏感结......
针对谐振式微机械加速度计输出数字频率信号的特点。基于TMS320VC5509A DSP处理核心与FPGA设计出一种可同时检测九路数字频率信号......
良好稳定性和大量程设计一直是困扰微惯性加速度计研制的两个难题,文中对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干......
介绍了微机械加速度计的基本原理及其分类．重点论述了微机械加速度计的特点和它在民用领域内的不同应用，并对微机械加速度计领域内一......
在传感器技术的发展过程中,传统模拟输出传感器由于具有一些固有局限,正在逐渐被数字输出传感器所取代.数字技术的应用使传统传感......
设计一种数字抽取滤波器，用于∑-△微加速度计的研究。分析了抽取滤波器的实现结构；基于Matlab平台，利用Simulink的过滤器分析工具包（F......
为了进一步抑制加速度计信号带宽范围内的噪声,提出并设计了一种基于∑-△M的五阶多反馈谐振式（MFLR）微机械加速度计闭环控制系统,该......
硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率。设计了一种玻璃—......
针对差频式微机械加速度计的工作原理对其结构进行了建模和仿真,通过有限元仿真的结果证明设计结构是合理的,最终得到一个较理想的......
概述了力反馈型微机械加速度计的基本结构和工作原理,对其在重力场静态翻滚试验的输出特性作了数据分析,并对这种微机械加速度计的......
介绍了谐振式微加速度计的工作原理。针对已设计好的谐振器样片结构，分析了微加速度计的驱动和检测原理。结合锁相环可以实现无相差......
针对电视遥控器的一种无键设计，该系统主要采用微机械加速度计做感应元件来获取二维的摆动信号，信号处理采用单片机控制，最后通过红外......
为了精确、高效地测量微机械加速度计的各项性能指标,并尽可能地降低地线干扰,系统采用DAQ-2213数据采集卡采集加速度计输出电压,......
对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,给出了最小临界偏压和最大可承受横向加速度的计算......
力反馈式微机械加速度计闭环系统的静电反馈力可以等效成一个与反馈电压成正比的负反馈力和一个与其平方成正比的负刚度，这使得加速......
梳齿式微机械加速度计的微机械结构在工作中受到预载电压、温度等多种因素的影响，输出具有非线性，研究指出这种非线性度和微机械结构......
微机械加速度计的输出受到环境温度的影响。文中以姿态参照系统为例，通过温度实验，得到了姿态参照系统中的微机械加速度计在不同温度......
地震数据采集系统的功能本质上应高保真地采集地震数据以解决地质任务。地震数据采集系统正不断地引入了微电子和计算机工业发展的......
过去几十年中,地震数据采集系统在全球地球物理界获得了广泛成功的应用,但勘探地球物理界对这些系统的接受和应用还是不尽人意.地......
为确保ΣΔ（sigma-delta）微加速度计系统仿真的正确性,提出一种改进的敏感结构等效电学模型.在分析传统敏感结构等效电学模型局限性......
飞思卡尔推出MMA745xL系列，这是一款数字输出（12C／SPI）、低功耗、紧凑型电容式微机械加速度计，具有信号调理、低通滤波器、温度补偿、自......
以一种新型的梳状栅电容结构微机械加速度计为研究对象,对比分析机械热噪声和量子噪声对其检测精度的影响。研究结果表明,当微机械......
介绍了一种新型的微机械加速度计--热对流加速度计的工作原理及加工制造工艺.由于加速度计由单晶硅腔体、加热器和两只在加热器两......
讨论了一种梳齿式微机械加速度计的静态模型.从加速度计的静态输入入手,求得加速度计平衡时的输出关系式,还讨论了敏感输入轴垂直......
大量程微机械加速度计在制导炮弹等大动态武器的组合导航系统上具有重要的应用需求。开环工作的大量程微机械加速度计由于敏感单元......
硅微谐振式加速度计是一种高精度的惯性传感器,它通过谐振梁刚度随惯性力的变化检测输入加速度的大小。为了得到较高的标度因数,国......
静电加速度计通过降低带宽和量程在空间微重力环境下可以实现极高的分辨率.设计了一种采用玻璃-硅-玻璃“三明治”结构、平行六面......
为了满足高性能微机械加速度计输出数字化的应用需求,基于亚微米工艺提出了一种16位高阶∑Δ模数转换器。采用五阶前馈单比特量化......
由于MEMS器件的应用日益频繁，其可靠性研究就显得十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。以微机械加速度计为例，指出了该加速度计的......
基于Sigma-delta Modulator（Σ△M）原理的数字闭环微机械加速度计不仅实现了力反馈闭环控制,同时直接完成信号的模数转换。基于全差......
分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,提出了一种新颖的硅基双轴谐振式微机械加速度计的结构形式。该结构采用一个质量块敏感两......
本论文在对传统栅电容结构的惯性传感器进行研究的基础上,提出了一种新型的梳状栅电容结构,并对基于此结构的加速度计和陀螺进行了......
由于具有巨大的军事和民用价值，微机械加速度计是目前应用最广泛的MEMS集成传感器之一。其中，电容式Sigma Delta微加速度计由于具有......
温度漂移是影响高精度、高稳定性MEMS加速度计整体工作性能的关键参数。采用有限元方法,建立了三种不同材料组合的MEMS"三明治"加......
采用系统集成技术，设计了基于GPRSDTU的强振数据采集终端，并通过Intemet在远程上位机完成数据分析处理，该地震监测系统不需要敷设传感......
谐振式微机械加速度计的微尺寸质量块引起的惯性力很小,严重制约了加速度计灵敏度的提高,因此提出采用杠杆机构放大惯性力。由于硅......
针对微机电系统(MEMS)加速度计的随机噪声对输出信号干扰的情况,提出了对加速度计噪声源及噪声类型进行辨识、估计与建模,并确定误......
为了提高模拟力平衡式电容微机械加速度计的鲁棒性和分辨率，对系统的非线性进行了研究。通过分析系统的数学模型，认为力发生器的非线......
