承片台相关论文
针对分步式压印光刻工艺超高精度对准及空间位姿调整要求,论述了一套由弹簧导轨承片台结构、驱动器及激光干涉仪构成的超高精度对......
在1034探针台中,驱动承片台在X-Y方向运动的平面电机功率放大部件是该设备的核心部件,其性能的好坏直接关系到探针台的性能.本文拟......
<正> 随着集成电路技术的发展,集成度进一步提高,圆片直径的不断增大,并要求在保证产品质量的前提下,进一步提高生产率,减轻工人的......
<正> 红外光刻机是电子工业,特别是硅、砷化镓等半导体器件梁式引线制造工艺中不可缺少的一项设备。我们采用国产的元件和材料,试......
本文介绍了自行研制的三种涂布机的性能。大型涂布机用于干版涂布,可以涂布9×24cm~2至45×45cm~2干版,总长度5米,连续式操作。实......
本文以当前比较先进的一些微细加工设备所采用的精密工作台系统为例,介绍了精密工作台的基本结构形式,导轨的种类,并概略地介绍了......
Y2002-63318-139 0327868使用自校准技术及氢退火制造高可靠性沟道DMOS—FET的一种新处理技术=Anovel process technique forfabr......
