平面电机相关论文
六自由度动磁式磁悬浮平面电机具有大行程、结构简单、精度高等特点,其动子由永磁体阵列组成,可实现六自由度无接触式运动,其定子......
磁悬浮平面电机是一种利用电磁力直接驱动电机动子悬浮和平动的新型平面驱动装置,具有结构简单、响应速度快、运动和定位精度高等......
学位
近年来,科学技术水平不断提高创新,不断产生新兴技术,但人们也开始发现,科技发展逐渐在达到边沿,需要制造更加精密的仪器设备和元......
平面开关磁阻电机在集成电路制造、精密加工以及生物医学工程等领域极具应用前景,它的可靠运行和位置控制都需要实时地获得动子位......
永磁同步平面电机是一种能够利用电磁能控制动子在平面进行多自由度运动的新型电机,与传统的平面运动机构相比,具有结构简单、出力......
本文介绍了一种新型测试PCB板性能的设备—平面电机飞针测试机。与传统的基于直线电机飞针测试机相比,该测试机具有结构简单,高速......
本文以山西省自然科学基金项目“平移磁场的电磁特性与平移运动的研究”为研究背景撰写而成。本文首先介绍了目前平面电机的国内外......
在这篇论文中，作者提出了一种基于Halbach阵列的高精度磁悬浮平面电机的结构设计思路和制造流程。这种结构的电机能够提供光刻作业......
随着材料科学及先进制造业的快速发展，平面电机在精密、超精密定位设备中具有巨大的应用潜力，受到了工程界和学术界的广泛关注。本文......
应用洛伦兹力公式建立了永磁同步平面电机线圈电流与线圈所受电磁推力和电磁转矩之间关系的数学模型,针对平面电机具有6个运动自由......
提出一种新型复合电流驱动的永磁同步平面电动机方案，介绍了该平面电动机的结构形式、运行原理和特点。针对其特殊结构形式和工作原......
长行程多自由度气浮平面电机广泛应用于高精度场合,如半导体制造装备、超精密仪器等.但气浮平面电机存在系统噪声大、易受外界干扰......
与由四组线圈单元驱动方式相比,三组线圈单元驱动的平面电机属于单边非质心驱动模型.为提高平面电机系统的伺服性能,需要准确的力......
随着轻量化设计的需求，磁悬浮平面电机结构质量与柔性之间矛盾凸显，使得低阶模态引起的振动将严重制约其纳米精度的生成及控制系统稳......
以实心转子感应电机为研究对象,查阅参考国内外的相关文献,归纳总结了实心转子高速电机、旋转直线感应电机以及平面感应电机研究现......
针对平面电机调速系统在PID控制下控制性能差的问题,文章提出了自抗扰控制方案,在突加负载或扰动时,用自抗扰控制器进行估计、补偿......
提出基于异形板振动驱动的平面运动电机新原理,以异形板的两纵杆上端作为驱动足。利用两纵杆的面内一阶反对称纵振分别与面内二弯......
提出十字形压电振子同型模态驱动的压电平面电机新原理，选定该振子的面外弯振、面内横杆弯振、面内纵杆弯振为工作模态，利用面外弯振......
利用Maxwell3D电磁场有限元分析软件对开关磁阻平面电机结构进行优化设计。对两种电机结构（动子宽齿结构、动子等齿结构）进行3D静磁......
针对传统基于单片机的电机控制系统在工作速度低、精度低和稳定性差的问题，设计了基于DSP的平面电机控制系统，该系统主要由控制器模......
开关磁阻平面电机具有结构简单、运行可靠、控制方便等优点,在生产生活中应用广泛.然而其磁路特有的非线性结构,给电机的结构分析......
集成电路（Integrated Circuit，IC）的集成度和特征尺寸直接体现了一个国家的制造技术水平。超精密工件台作为制造集成电路的关键设备，是......
为了加快开关磁阻平面电机的开发与应用，详细阐述了开关磁阻平面电机的组成结构和运行机理。对气隙磁导进行计算，并推导出动子3个特......
开关磁阻平面电机具有结构简单,运行可靠,控制方便等优点,在生产生活中具有很广泛的应用。由于电机本身具有的非线性特性而引发的......
针对精密微动平面电机电流驱动特点及其功率驱动器高线性度要求,提出了一种高线性的功率驱动器电路设计.该电路采用电流负反馈技术......
论述了一台应用于工业位置控制的新型平面开关磁阻电动机。该二维电机机械结构简单，性能可靠，并且可以工作在恶劣的环境中。由于该电......
提出了一种基于DSP的精密直流伺服驱动器设计方案,采用基于PI2算法的电流负反馈,及电流输出零点自校正算法等控制策略,应用于平面......
半导体光刻加工中，平面电机的6个运动自由度之间存在着紧密的电磁和力学耦合，为实现对这6个运动自由度的解耦控制，首先提出了作为执行......
针对磁浮平面电机Halbach磁钢阵列,分析改变磁钢形状对空隙磁感应强度的影响,即用梯形磁钢替换矩形磁钢。通过傅里叶级数和磁标势......
目前,诸如集成电路制造、微机电系统加工制造等产业都对多自由度精密定位平台有着十分迫切的需求。研制一种具有多自由度、定位精......
平面电机是可以直接输出平面运动的新型电机，具有结构简单、精度高、响应速度快等特点。本文以磁悬浮平面电机为研究对象，建立了通电......
平面电机的电磁执行器由4组海尔贝克(Halbach)型永磁同步直线电机构成。介绍平面电机的结构和工作原理,给出执行器样机的结构方案......
针对动圈式磁悬浮永磁平面电机定子磁场谐波含量较大的问题,提出了一种根据实际气隙磁密与期望气隙磁密的平均相对均方差对磁钢参......
期刊
对于模型参数具有不确定性的平面电机运动系统,电流分配策略是引起其多自由度耦合行为的本质。但现有解耦控制的研究主要集中于各......
对于无铁芯动铁式长行程平面电机,其动子Halbach永磁阵列端部磁场的畸变将产生端部效应,由其引起的推力波动将影响平面电机定位与......
期刊
多自由度短行程超精密平面电机具有高精度、高速度、高频响等优点,在半导体光刻加工、超精密测量、生物芯片技术等现代精密、超精......
建立了永磁同步平面电动机动子的3自由度动力学模型，并在偏摆角位移较小的假设基础上，对动力学模型进行了简化，进而拟定了通过同时调......
介绍了一种应用于高精度平面电机的新型Halbach磁阵列的基本结构,并通过建立相应的解析数学模型,对此种磁阵列的磁场进行了精确的......
期刊
在1034探针台中,驱动承片台在X-Y方向运动的平面电机功率放大部件是该设备的核心部件,其性能的好坏直接关系到探针台的性能.本文拟......
为了探讨半导体IC芯片在加工过程中平面定位的新方法，依据磁阻最小原理，采用类比法，建立了开关磁阻平面电机SRPM的线性数学模型，设计并......
在制造过程中，对机械设备的要求越来越高。精密机械设备通常要求具有多自由度、高精度、高动态响应性能，优良的输出特性，高推力密度等......
期刊
磁浮平面电机是一种新型的平面电机,这种平面电机可以实现在六个自由度上的运动,可实现真空条件更适合于在光刻机中使用。本文以鱼......
提出利用具有双兰杰文振子的H定子驱动的压电平面电机,选定H定子两纵杆沿x Oy面的一纵、二弯模态,及沿z Oy面的二弯模态为工作模态......
平面电机不需要中间转换机构便可直接实现二维平面运动,具有定位精度高、加速度大、响应速度快等特点。相比于其他各类的平面电机,......
随着精密工程技术领域生产规模和技术水平的快速发展,相关行业对多自由度精密定位台的需求在不断增加,对其定位精度、响应速度、自......
针对光刻机工件台长行程直线电机宏动和平面电机高精密微动的耦合运动特点,提出一种宏动跟踪微动的变增益非线性复合控制方法,实现......
磁悬浮平面电机是一种先进的运动驱动装置,具有良好的动态性能,可以获得很高的运动精度,在集成电路制造、微纳制造等先进制造装备......
