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微小型机电器件涉及不同组成材料、加工工艺以及不同的组装技术等,一次加工成型往往不可行,多是由尺寸小、强度和刚度较低的微小零......
传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,它与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱。随着现代科学技术,特别是微......
微机械加速度传感器是应用微机电系统技术研发出来的典型微传感器,在军事装备和工业产品领域具有广阔的应用背景。在一些惯性导航......
确定了微机械气流式水平姿态传感器2只热敏电阻器的最佳距离。采用有限元方法，利用ANSYS-FLOTRAN CFD软件，计算了在不同倾斜状态下两......
利用材料力学及弹性力学法,对石英晶体谐振式力传感器的悬臂梁结构进行了研究,得出了双梁单岛及三梁单岛悬臂梁结构的力转移系数,......
该文确定了三丝结构中加热热电阻丝和检测热电阻丝的最佳排列方式。采用有限元法，利用AN—sY孓FLOTRANCFD软件，通过建模、划分网格、......
针对硅基三明治型微加速度计的温度漂移现象，基于力学和热学原理，分析了微加速度计敏感部分关键结构弹性梁、敏感质量块在温度升高时......
为了紧跟国际前沿科学研究步伐,中国科学院于2016年提出了中国自己的空间引力波探测计划-太极计划,该计划分三个阶段逐步进行,第一......
近年来,硅微机械陀螺作为MEMS器件的重要组成部分得到飞速发展,伴随其应用环境的日益复杂,器件工作的可靠性问题也日益突出。本文......
为提高SOI压阻式压力传感器的灵敏度,对传感器敏感结构的弹性膜片和压敏电阻的形状、尺寸等结构参数进行了优化设计。利用COMSOL M......
MEMS(微机电系统)硅谐振式压力传感器利用检测其谐振频率的改变间接测量外界环境压力,拥有体积小,精度高,抗干扰能力强等优点。另......
结合机械故障信息监测的需求,将微机电系统(micro electro-mechanical system,简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中,介......
惯性传感器被广泛应用于地球重力场反演、等效原理验证等科学实验中,用来测量空间非保守力作用引起的微小加速度扰动以实现航天器......
硅微机械陀螺是一种利用哥氏效应敏感物体转动角速率的MEMS惯性传感器。它能够在同一块硅片上集成敏感结构和外围测控电路,具有成......
介绍一种电容式加速度计的敏感结构,通过Solidworks三维实体模型软件对其建模,推导敏感结构固有频率、灵敏度计算公式,进行理论计......
参考硅谐振式压力传感器设计了一种以石墨烯材料为梁的谐振子,对谐振子进行了理论分析及有限元仿真,揭示了其工作机理,探究了谐振......
针对环形振动陀螺结构对称、模态特性参数相同与抗干扰特性好的特点,提出了一种新型的电容式环形微机电振动陀螺。设计了S形弹性支......
