注入机相关论文
国内企业的篷勃发展,与近几年的国家持续支持密不可分。“十五”期间,国家科技部、发改委、工信部、财政部重点支持了光刻机、刻蚀......
马颂德副部长考察集成电路刻蚀机与注入机重大项目进展情况/我国实现超级稻计划将大幅度提高水稻单产/机器人主题和MEMS专项联合组织数字化医疗装备研讨/机载高分辨力微波辐射计航空校飞试验获得圆满成功/“高
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对强流氧离子注入机的注入靶室进行分析探讨,对影响均匀性指标的靶盘结构、束的形状和束扫描注入方式进行研究,结合主体硬件,增加......
在超大规模集成电路生产线宽45 nm及以下的注入工艺环节中,离子束注入晶圆角度精度控制变得愈显重要,注入角度的细小差别引起掺杂......
前面已经介绍过一种大束流ECR离子源,它能产生O+的含量达80％的200mA氧束流。最近,又研制出能产生束流密度大于100mA/cm2的两种更先......
