浅槽隔离相关论文
100V横向双扩散金属氧化物半导体场效应管(Lateral Double-diffused Metal Oxide Semiconductor,LDMOS)被广泛应用于汽车电子及智能......
随着器件特征尺寸的不断减小,在器件结构和工艺上采取了新的措施。分析了STI(shallow trench isolation)隔离导致器件电离辐射总剂量......
基于0.18μm CMOS工艺开发了浅槽隔离(STI)场区抗总剂量辐射加固技术,采用离子注入技术使 STI/衬底界面处的 P 型硅反型阈值提高,从而......
最近几年,随着半导体技术的快速发展,半导体集成电路发生了翻天覆地的变化。而其中,半导体的隔离技术也经历了巨大发展。以前当半......
浅槽隔离(STI)工艺因其无鸟嘴、集成度高及隔离能力强等优点成为深亚微米功率集成电路领域的主流,功率STI-LDMOS器件也因此成为应......
LDMOS(Lateral Double.Diffused MOSFET)作为一种横向功率器件,其电极均位于器件表面,易于通过内部连接实现与低压信号电路以及其......